Hochschulschrift
Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
MEMS
Sensortechnik
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200601174
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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