Hochschulschrift
Beiträge zur Entwicklung einer Technologieplattform für die Herstellung von oberflächennahen Mikrostrukturen mit hohen Aspektverhältnissen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2006
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
MEMS
Sensortechnik
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200601174
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:46 MEZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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