Relating mask repair performance to physical and chemical aspects of focused electron beam induced deposition (FEBID)

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Bielefeld, Universität Bielefeld, Dissertation, 2022

Schlagwort
Performance
Teos

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bielefeld
(wer)
Universitätsbibliothek Bielefeld
(wann)
2022
Urheber

DOI
10.4119/unibi/2962553
URN
urn:nbn:de:0070-pub-29625536
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:43 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2022

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