Hochschulschrift
Relaxationsphänomene in keramischen Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183535057
318353505X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 151 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 535, Reihe 5
- Keyword
-
Halbleiterspeicher
Titanatkeramik
MOCVD-Verfahren
Dünne Schicht
Dielektrische Relaxation
Ferroelektrizität
Halbleiterspeicher
PLZT-Keramik
Dünne Schicht
Dielektrische Relaxation
Ferroelektrizität
Halbleiterspeicher
Tantalate
Oxidkeramik
Dünne Schicht
Dielektrische Relaxation
Ferroelektrizität
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:01 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schumacher, Marcus
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1998
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