Hochschulschrift

Nasschemische Synthese und Charakterisierung von elektronisch leitfähigen, oxidischen Dünnschichten für die Mikroelektronik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183306091
3183306093
Maße
21 cm
Umfang
XI, 201 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 306, Reihe 9

Schlagwort
Oxidkeramik
Perowskitstruktur
Lösungskristallisation
Prozessführung
Dünne Schicht
Elektrische Eigenschaft
Lanthanoxid
Manganoxide
Mischoxide
Oxidkeramik
Werkstoff
Mikroelektronik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1999
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:03 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1999

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