Hochschulschrift

Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie

Alternative title
Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Berlin, Technische Universtität Berlin, Diss., 2011

Classification
Industrielle und handwerkliche Fertigung

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin
(who)
Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin
(when)
2011
Creator
Lemke, Stephanie
Contributor
Schmidt, Martin

URN
urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:51 PM CET

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Lemke, Stephanie
  • Schmidt, Martin
  • Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin

Time of origin

  • 2011

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