Hochschulschrift
Charakterisierung modifizierter Negativresiste für die Röntgentiefenlithographie
- Alternative title
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Characterization of modified negative resists for deep X-ray lithography
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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Berlin, Technische Universtität Berlin, Diss., 2011
- Classification
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Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Berlin
- (who)
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Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin
- (when)
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2011
- Creator
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Lemke, Stephanie
- Contributor
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Schmidt, Martin
- URN
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urn:nbn:de:kobv:83-opus-33440
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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25.03.2025, 1:51 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lemke, Stephanie
- Schmidt, Martin
- Universitätsbibliothek der Technischen Universität Berlin
Time of origin
- 2011