Entwurf und Realisierung eines Informationssystems zur Prozeßdatenverwaltung und -verarbeitung im durchgängigen Halbleitertechnologieprozeß

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
1430-211X
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
In: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-79344

Erschienen in
Technische Berichte / Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik ; 1997,05 (TUD-FI97-05 Mai 1997)

Klassifikation
Management
Schlagwort
Prozessdaten
Informationssystem

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden, Dresden
(wer)
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
(wann)
2012
Urheber
Gratz, Achim
Schulz, Patrick
Spallek, Rainer G.

URN
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-98779
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:41 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Gratz, Achim
  • Schulz, Patrick
  • Spallek, Rainer G.
  • Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden

Entstanden

  • 2012

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