Entwurf und Realisierung eines Informationssystems zur Prozeßdatenverwaltung und -verarbeitung im durchgängigen Halbleitertechnologieprozeß

Object Details

• Location: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISSN: 1430-211X
• Extent: Online-Ressource
• Language: Deutsch
• Notes: In: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-79344

References and Relationships

• Bibliographic citation: Technische Berichte / Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik ; 1997,05 (TUD-FI97-05 Mai 1997)

Classification and Topics

• Classification: Management
• Keyword: Prozessdaten ; Informationssystem

Contributors, Places and Time

• Event: Veröffentlichung
• (where): Dresden, Dresden
• (who): Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
• (when): 2012
• Creator: Gratz, Achim ; Schulz, Patrick ; Spallek, Rainer G.

Further information

• URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-98779
• Rights: Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
• Last update: 25.03.2025, 1:41 PM CET