Hochschulschrift

Schnelle thermische Prozessierung und Charakterisierung dünner nitridierter Oxide

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826506543
3826506545
Dimensions
21 cm
Extent
II, 141 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1995

Keyword
ULSI
Siliciumdioxid
Dünne Schicht
Rapid thermal processing
Elektrische Eigenschaft

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
1995
Creator
Bauer, Anton

Table of contents
Rights
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Last update
11.03.2025, 12:09 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Bauer, Anton
  • Shaker

Time of origin

  • 1995

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