Hochschulschrift

Schnelle thermische Prozessierung und Charakterisierung dünner nitridierter Oxide

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826506543
3826506545
Maße
21 cm
Umfang
II, 141 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1995

Schlagwort
ULSI
Siliciumdioxid
Dünne Schicht
Rapid thermal processing
Elektrische Eigenschaft

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1995
Urheber
Bauer, Anton

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:09 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Bauer, Anton
  • Shaker

Entstanden

  • 1995

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