Hochschulschrift
Untersuchungen zur Feuchtigkeitsaufnahme von Niedrig-Epsilon-Materialien für die Anwendung als Zwischenebenendielektrika in Mikrochips
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783863869687
- Maße
-
21 cm, 246 g
- Umfang
-
133 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hergestellt on demand
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Chip
VLSI
Leiterbahn
Low-k-Dielektrikum
Wasseraufnahme
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:22 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kubasch, Christoph
- Pro Business
Entstanden
- 2013
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