Hochschulschrift
Oberflächenqualität und Randzonenbeeinflussung beim Planschleifen einkristalliner Siliciumscheiben
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783446178014
3446178015
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
III, 184 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
- Erschienen in
-
Produktionstechnik - Berlin ; 143
- Schlagwort
-
Wafer
Silicium
Flachschleifen
Oberflächenschaden
Mikrostruktur
Randschicht
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
München, Wien
- (wer)
-
Hanser
- (wann)
-
1994
- Urheber
-
Holz, Bernhard Frank
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:54 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Holz, Bernhard Frank
- Hanser
Entstanden
- 1994
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