Hochschulschrift

Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Stuttgart, Univ., Diss., 2007

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
Titannitrid ; Titan ; Magnetronsputtern ; Mikromechanik ; Mikrosystemtechnik ; Eigenspannung

Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:93-opus-30574
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 11:00 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

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