On the chemical composition of TiAlN thin films : Comparison of ion beam analysis and laser-assisted atom probe tomography with varying laser pulse energy
- Location
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                Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
 
- Extent
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                Online-Ressource
 
- Language
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                Englisch
 
- Bibliographic citation
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                In: 10.1016/j.tsf.2019.04.026
 
- Event
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                Veröffentlichung
 
- (where)
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                Aachen
 
- (who)
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                Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
 
- (when)
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                2019
 
- Creator
 
- DOI
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                        10.18154/RWTH-2019-08307
 
- URN
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                        urn:nbn:de:101:1-2020110916152291739050
 
- Rights
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                        Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
 
- Last update
 - 
                
                    
                        15.08.2025, 7:20 AM CEST
 
Data provider
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Associated
- Hans, Marcus
 - Schneider, Jochen M.
 - Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
 
Time of origin
- 2019