On the chemical composition of TiAlN thin films : Comparison of ion beam analysis and laser-assisted atom probe tomography with varying laser pulse energy

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: 10.1016/j.tsf.2019.04.026

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2019
Creator

DOI
10.18154/RWTH-2019-08307
URN
urn:nbn:de:101:1-2020110916152291739050
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:54 PM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

Time of origin

  • 2019

Other Objects (12)