Manufacture and characterization of graphene membranes with suspended silicon proof masses for MEMS and NEMS applications
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Bibliographic citation
-
In: 10.1038/s41378-019-0128-4
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
-
2020
- Creator
-
Fan, Xuge
Smith, Anderson D.
Forsberg, Fredrik
Wagner, Stefan
Schröder, Stephan
Akbari, Sayedeh Shirin Afyouni
Fischer, Andreas C.
Villanueva, Luis Guillermo
Östling, Mikael
Lemme, Max Christian
Niklaus, Frank
- DOI
-
10.18154/RWTH-2020-06575
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2020091006485701933206
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:44 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Fan, Xuge
- Smith, Anderson D.
- Forsberg, Fredrik
- Wagner, Stefan
- Schröder, Stephan
- Akbari, Sayedeh Shirin Afyouni
- Fischer, Andreas C.
- Villanueva, Luis Guillermo
- Östling, Mikael
- Lemme, Max Christian
- Niklaus, Frank
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2020
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