Hochschulschrift
Integration piezoelektrisch aktiver Schichten auf Silizium für die Mikrosystemtechnik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783868443264
- Maße
-
21 cm, 220 gr.
- Umfang
-
VIII, 146 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Magdeburg, Univ., Diss., 2011
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Piezoelektrischer Linearmotor
Dickschichttechnik
Piezoelektrischer Aktor
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:26 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schimpf, Stefan
- Sierke
Entstanden
- 2011
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