Hochschulschrift
Modellierung von transienten Effekten bei der Diffusion von Bor in Silicium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832207076
3832207074
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 190 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Bibliographic citation
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2002,1
- Keyword
-
Silicium
Ionenimplantation
Bor
Diffusion
Modellierung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:50 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Stiebel, Dorothée
- Shaker
Time of origin
- 2002
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