Hochschulschrift

Detailed investigations of the sheath dynamics and elementary processes in capacitively coupled RF plasmas

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Greifswald, Univ., Diss., 2009

Keyword
Hochfrequenzplasma ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Plasmadynamik ; Plasmarandschicht ; Kaltes Plasma

Creator

URN
urn:nbn:de:gbv:9-000693-2
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:48 AM CEST

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

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