Hochschulschrift
Detailed investigations of the sheath dynamics and elementary processes in capacitively coupled RF plasmas
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Notes
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Greifswald, Univ., Diss., 2009
- Keyword
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Hochfrequenzplasma ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Plasmadynamik ; Plasmarandschicht ; Kaltes Plasma
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:gbv:9-000693-2
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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14.08.2025, 10:48 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift