Hochschulschrift

Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
138 Bl. in getr. Zählung
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Magdeburg, Univ., Diss., 2001

Schlagwort
Magnetronsputtern
Titan
Titandioxid
Glimmentladung
Plasmadiagnostik
Emissionsspektroskopie

Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:02 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

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