Etch mechanism of an Al₂O₃ hard mask in the Bosch process

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Micro and Nano Engineering, 14, S.

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Wildau
(wer)
Technische Hochschule Wildau
(wann)
2022
Urheber
Drost, Martin
Marschmeyer, Steffen
Fraschke, Mirko
Fursenko, Oksana
Bärwolf, Florian
Costina, Ioan
Mahadevaiah, Mamathamba Kalishettyhalli
Lisker, Marco

URN
urn:nbn:de:kobv:526-opus4-15678
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:37 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Drost, Martin
  • Marschmeyer, Steffen
  • Fraschke, Mirko
  • Fursenko, Oksana
  • Bärwolf, Florian
  • Costina, Ioan
  • Mahadevaiah, Mamathamba Kalishettyhalli
  • Lisker, Marco
  • Technische Hochschule Wildau

Entstanden

  • 2022

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