Hochschulschrift
Einbeziehung der Intrinsic-Getterung in Basistechnologien zur Herstellung mikroelektronischer Bauelemente auf der Grundlage von Siliciumsubstratscheiben
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
34, 10 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Berlin, Akad. d. Wiss. d. DDR, Diss. B, 1988 (Nicht f.d. Austausch)
- Schlagwort
-
Silizium
Mikroelektronische Bauelemente
Silicium
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:39 MEZ
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Objekttyp
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