Hochschulschrift

Micromechanical tunable fabry-pérot interferometers with membrane bragg mirrors based on silicon/silicon carbonitride

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844069082
3844069089
Maße
21 cm, 280 g
Umfang
IV, 200 Seiten
Ausgabe
[1. Auflage]
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Illustrationen
Karlsruher Institut für Technologie, Dissertation, 2019

Schlagwort
Fabry-Pérot-Interferometer
MEMS

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düren
(wer)
Shaker Verlag
(wann)
2019
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:26 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2019

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