Hochschulschrift
Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826575648
3826575644
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VI, 120 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
- Keyword
-
Integrierte Optoelektronik
Mehrschichtleiterplatte
Wafer
Lithografie
Excimerlaser
Prozessanalyse
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:46 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Sommer, Martin H.
- Shaker
Time of origin
- 2000
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