Hochschulschrift

Encapsulated micromachined resonant force sensor

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183338092
3183338092
Maße
21 cm
Umfang
XVI, 145 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 338, Reihe 9

Schlagwort
Kraftsensor
Resonator
Gehäuse
Silicium
Einkristall
Mikrosystemtechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
2001
Urheber
Haueis, Martin

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:14 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Haueis, Martin
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 2001

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