Hochschulschrift
Röntgenographische Untersuchungen über die thermische Stabilität von Struktur und Eigenspannungen gesputterter PVD-Schichten und deren Einfluss auf die mechanischen und tribologischen Eigenschaften
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826520587
3826520580
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IV, 152 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1996
- Keyword
-
Sputtern
Schutzschicht
Verschleißschutz
Stoffeigenschaft
Hochtemperatur
Kennzahl
Sputtern
Prozessoptimierung
Qualitätssicherung
Dünne Schicht
Röntgendiffraktometrie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1997
- Creator
-
Herr, Werner
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:57 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Herr, Werner
- Shaker
Time of origin
- 1997
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