Hochschulschrift

Röntgenographische Untersuchungen über die thermische Stabilität von Struktur und Eigenspannungen gesputterter PVD-Schichten und deren Einfluss auf die mechanischen und tribologischen Eigenschaften

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826520587
3826520580
Maße
21 cm
Umfang
IV, 152 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1996

Schlagwort
Sputtern
Schutzschicht
Verschleißschutz
Stoffeigenschaft
Hochtemperatur
Kennzahl
Sputtern
Prozessoptimierung
Qualitätssicherung
Dünne Schicht
Röntgendiffraktometrie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1997
Urheber
Herr, Werner

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:57 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Herr, Werner
  • Shaker

Entstanden

  • 1997

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