HED-TIE: A wafer-scale approach for fabricating hybrid electronic devices with trench isolated electrodes and its application in sensing devices

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2019

Keyword
Electronic apparatus and appliances
Electrodes
Sensor
Elektrode
Halbleiter
Herstellung
Material
Phthalocyanin

Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Technische Universität Chemnitz
(when)
2019
Creator
Contributor

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa2-340621
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:55 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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