Entwicklung und Charakterisierung von nanostrukturierten thermischen MEMS-Flusssensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Dortmund, Technische Universität, Dissertation, 2021
- Schlagwort
-
Durchflusssensor
Mikrosensor
Drucksensor
Temperatursensor
Nanometerbereich
Geräteentwicklung
Mikrofluidik
MEMS
Geräteentwicklung
Siliciumcarbid
Mikrofluidik
MEMS
Sensor
Nanotechnologie
Mikrotechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dortmund
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Dortmund
- (wann)
-
2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Fiedler, Horst L.
Oehm, Jürgen
- Handle
-
2003/40244
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2021061803423648066348
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:02 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Beteiligte
- Ebschke, Sven
- Fiedler, Horst L.
- Oehm, Jürgen
- Universitätsbibliothek Dortmund
Entstanden
- 2021
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