Entwicklung und Charakterisierung von nanostrukturierten thermischen MEMS-Flusssensoren

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dortmund, Technische Universität, Dissertation, 2021

Schlagwort
Durchflusssensor
Mikrosensor
Drucksensor
Temperatursensor
Nanometerbereich
Geräteentwicklung
Mikrofluidik
MEMS
Geräteentwicklung
Siliciumcarbid
Mikrofluidik
MEMS
Sensor
Nanotechnologie
Mikrotechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dortmund
(wer)
Universitätsbibliothek Dortmund
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Fiedler, Horst L.
Oehm, Jürgen

Handle
2003/40244
URN
urn:nbn:de:101:1-2021061803423648066348
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:47 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Ebschke, Sven
  • Fiedler, Horst L.
  • Oehm, Jürgen
  • Universitätsbibliothek Dortmund

Entstanden

  • 2021

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