Hochschulschrift
Fabrication and application of self-masked silicon nanostructures in deep reactive ion etching processes
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
- Keyword
-
Industriechemikalie
Silicium
Plasmatechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Ilmenau
- (who)
-
Universitätsbibliothek Ilmenau
- (when)
-
2010
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2010000371
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:44 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kremin, Christoph
- Hoffmann, Martin
- Schaaf, Peter
- Schnakenberg, Uwe
- Universitätsbibliothek Ilmenau
Time of origin
- 2010
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