Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Diekmann, L.F.; Kassner, A.; Dencker, F.; Wurz, M.C.: Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina. In: Journal of vacuum science & technology : JVST : B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena 40 (2022), Nr. 5, 054202. DOI: https://doi.org/10.1116/6.0001991

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover
(wer)
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
(wann)
2022
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover
(wer)
Technische Informationsbibliothek (TIB)
(wann)
2022
Urheber
Diekmann, Leonard Frank
Kassner, Alexander
Dencker, Folke
Wurz, Marc Christopher

DOI
10.15488/13734
URN
urn:nbn:de:101:1-2023060802111391352540
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:58 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Diekmann, Leonard Frank
  • Kassner, Alexander
  • Dencker, Folke
  • Wurz, Marc Christopher
  • Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
  • Technische Informationsbibliothek (TIB)

Entstanden

  • 2022

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