Hochschulschrift

Physikalisch-chemische Analyse mittels SIMS-AES von MOS und MIOS-Strukturen und deren Grenzflächen

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
93 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Aachen, Techn. Hochsch., Fak. für Elektrotechnik, Diss., 1980

Schlagwort
MOS-Struktur
Halbleitertechnik
MOS
Halbleitertechnologie

Urheber
Frenzel, Holger

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:23 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Frenzel, Holger

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