Hochschulschrift
Entwicklung eines neuartigen elektrischen Rasterkraftmikroskopie-Tests zur quantitativen Bestimmung von Gleich- und Wechselspannungen bis über 100 GHz in integrierten mikroelektronischen Schaltungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183324095
3183324091
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XIV, 219 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2000
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 324, Reihe 9
- Schlagwort
-
Integrierte Schaltung
Hochfrequenzschaltung
Testen
Rasterkraftmikroskopie
Leiterbahn
Oberflächenmessung
Integrierte Schaltung
Nanotechnologie
Testen
Rasterkraftmikroskopie
Leiterbahn
Oberflächenmessung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
2000
- Urheber
-
Wittpahl, Volker
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:43 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Wittpahl, Volker
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2000
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