Hochschulschrift
Formation of aluminium nitride by plasma immersion ion implantation
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898202701
3898202704
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
109 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Aluminiumnitrid
Plasma-Immersions-Implantation
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Mensch-und-Buch-Verl.
- (wann)
-
2001
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:51 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Manova, Darina Ilcheva
- Mensch-und-Buch-Verl.
Entstanden
- 2001
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