Hochschulschrift
X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783731506799
- Umfang
-
Online-Ressourcen
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Dissertation, 2017
- Erschienen in
-
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 36
- Klassifikation
-
Physik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Karlsruhe
- (wer)
-
KIT Scientific Publishing
- (wann)
-
2017
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.5445/KSP/1000070029
- URN
-
urn:nbn:de:0072-700294
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:51 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Koch, Frieder Johannes
- Karlsruher Institut für Technologie
- KIT Scientific Publishing
Entstanden
- 2017
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