Hochschulschrift
Entwicklung eines Hochtemperatur-Trench-Kondensators mit Hilfe von Methoden der Atomlagenabscheidung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2017
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Kondensator
Atomlagenabscheidung
Trench
Hochtemperatur
Leckstrom
Kennlinie
Ätzen
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Duisburg, Essen
- (who)
-
Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
- (when)
-
2017
- Creator
- Contributor
-
Vogt, Holger
Fiedler, Horst
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-20170901-140750-4
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:58 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Dietz, Dorothee
- Vogt, Holger
- Fiedler, Horst
- Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
Time of origin
- 2017
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