Hochschulschrift
Entwicklung eines Hochtemperatur-Trench-Kondensators mit Hilfe von Methoden der Atomlagenabscheidung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2017
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Kondensator
Atomlagenabscheidung
Trench
Hochtemperatur
Leckstrom
Kennlinie
Ätzen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Duisburg, Essen
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
- (wann)
-
2017
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Vogt, Holger
Fiedler, Horst
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-20170901-140750-4
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:58 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Dietz, Dorothee
- Vogt, Holger
- Fiedler, Horst
- Universitätsbibliothek Duisburg-Essen
Entstanden
- 2017
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