Hochschulschrift
Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181400098
3181400092
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 120 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
49 Ill. u. graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 100, Reihe 9
- Keyword
-
Gold
Dünne Schicht
Sputtern
Ionenstrahl
Einfallwinkel
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:22 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Müller, Karl Paul
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1990
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