Hochschulschrift
Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181400098
3181400092
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
IX, 120 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
49 Ill. u. graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 100, Reihe 9
- Schlagwort
-
Gold
Dünne Schicht
Sputtern
Ionenstrahl
Einfallwinkel
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:22 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Müller, Karl Paul
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1990
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