Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832210724
3832210725
- Maße
-
21 cm, 241 gr.
- Umfang
-
IX, 147 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002
- Erschienen in
-
Berichte aus der Produktionstechnik ; Bd. 2003,2
- Schlagwort
-
Spiegelsystem
Mikrosystemtechnik
Optische Messung
Oberflächenmessung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:07 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Bitte, Frank
- Shaker
Entstanden
- 2003
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