Ein spiegelmatrix-basiertes optisches 3D-Messsystem für die Mikrostrukturprüfung

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832210724
3832210725
Dimensions
21 cm, 241 gr.
Extent
IX, 147 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2002

Bibliographic citation
Berichte aus der Produktionstechnik ; Bd. 2003,2

Keyword
Spiegelsystem
Mikrosystemtechnik
Optische Messung
Oberflächenmessung

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2003
Creator

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Last update
11.06.2025, 2:07 PM CEST

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Time of origin

  • 2003

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