Hochschulschrift
Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181438053
3181438057
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XI, 172 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 338, Reihe 5
- Schlagwort
-
Mikromechanik
Silicium
Schichtwerkstoff
Mechanische Eigenschaft
Mikromechanik
Silicium
Wafer
Bruchfestigkeit
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1994
- Urheber
-
Zhang, Junming
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:25 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Zhang, Junming
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1994
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