Hochschulschrift
Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften mikromechanischer Werkstoffe
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181438053
3181438057
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XI, 172 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 338, Reihe 5
- Keyword
-
Mikromechanik
Silicium
Schichtwerkstoff
Mechanische Eigenschaft
Mikromechanik
Silicium
Wafer
Bruchfestigkeit
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1994
- Creator
-
Zhang, Junming
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:25 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Zhang, Junming
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1994
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