Hochschulschrift

Sensoren zur berührungslosen Messung der elektrischen Leitfähigkeit dünner Schichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
II, 78 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1995

Schlagwort
Dünne Schicht
Elektrische Leitfähigkeit
Prozessmesstechnik
Inprozesskontrolle

Urheber
Thorn, Gernot Ernst

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:37 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Thorn, Gernot Ernst

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