Hochschulschrift
Trockenätzverfahren zur Nanostrukturierung von III-V-Halbleitern für die Miniaturisierung von optoelektronischen Bauelementen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
100 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Würzburg, Univ., Diss., 2002
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
ECR-Ätzen
Elektronenstrahllithografie
Drei-Fünf-Halbleiter
Nanostruktur
Photonischer Kristall
Optoelektronisches Bauelement
ECR-Ätzen
Elektronenstrahllithografie
Drei-Fünf-Halbleiter
DBR-Laser
Laserspiegel
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:21 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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