Analysis of doping concentration and composition in wide bandgap AlGaN:Si by wavelength dispersive x-ray spectroscopy

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Semiconductor Science and Technology (32:3) - Bristol : IOP - Art.-Id. 035020

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin
(wer)
Technische Universität Berlin
(wann)
2022
Urheber
Kusch, Gunnar
Mehnke, Frank
Enslin, Johannes
Edwards, Paul R.
Wernicke, Tim
Kneissl, Michael
Martin, Robert W.

DOI
10.14279/depositonce-15151
Handle
11303/16375
URN
urn:nbn:de:101:1-2022021601050814052036
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:24 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2022

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