Hochschulschrift

Untersuchung der Wachstumskinetik von SiC mithilfe der in-situ Computertomographie des Gasphasenkristallisationsprozesses und der Modellierung der Wachstumsbedingungen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844081350
3844081356
Dimensions
21 cm, 249 g
Extent
162 Seiten
Language
Deutsch
Notes
Illustrationen
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 2021

Keyword
Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Gasphase
Kristallwachstum
Prozessanalyse
Computertomografie
In situ
Prozessmodell

Event
Veröffentlichung
(where)
Düren
(who)
Shaker Verlag
(when)
2021
Creator
Contributor

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Last update
11.06.2025, 2:15 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2021

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