Hochschulschrift
Untersuchung der Wachstumskinetik von SiC mithilfe der in-situ Computertomographie des Gasphasenkristallisationsprozesses und der Modellierung der Wachstumsbedingungen
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783844081350
3844081356
- Maße
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21 cm, 249 g
- Umfang
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162 Seiten
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Illustrationen
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 2021
- Schlagwort
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Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Gasphase
Kristallwachstum
Prozessanalyse
Computertomografie
In situ
Prozessmodell
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Düren
- (wer)
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Shaker Verlag
- (wann)
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2021
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 14:15 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Arzig, Matthias
- Shaker Verlag
- Shaker Verlag
Entstanden
- 2021