In-situ study of crack propagation in patterned structures of microchips using X-ray microscopy

Alternative title
In-situ Untersuchung der Rissausbreitung in Mikrochip-Strukturen mittels Röntgenmikroskopie
Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, Dissertation, 2023

Keyword
Rissausbreitung
Rissbildung
Werkstoffschädigung
Bruchmechanik
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Rissausbreitung
Mikroriss
Bruchverhalten
Bruchmechanik
Nanostrukturiertes Material
Chip
Röntgenmikroskopie

Event
Veröffentlichung
(where)
Cottbus
(who)
BTU Cottbus - Senftenberg
(when)
2023
Creator
Kutukova, Kristina
Contributor
Zschech, Ehrenfried
Schmeißer, Dieter
Schneider, Gerd

DOI
10.26127/BTUOpen-6256
URN
urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-62567
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:55 PM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

  • Kutukova, Kristina
  • Zschech, Ehrenfried
  • Schmeißer, Dieter
  • Schneider, Gerd
  • BTU Cottbus - Senftenberg

Time of origin

  • 2023

Other Objects (12)