Konferenzschrift

Mikrosystemtechnik : Mikromechanik & Mikroelektronik

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783000082016
3000082018
Dimensions
30 cm
Extent
VIII, 267 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
(when)
2001
Contributor
Technische Universität Chemnitz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (5 : 2001 : Chemnitz)

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Last update
11.03.2025, 12:11 PM CET

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Object type

  • Konferenzschrift

Associated

  • Technische Universität Chemnitz
  • Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (5 : 2001 : Chemnitz)
  • Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik

Time of origin

  • 2001

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