Konferenzschrift

Mikrosystemtechnik : Mikromechanik & Mikroelektronik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783000082016
3000082018
Maße
30 cm
Umfang
VIII, 267 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
(wann)
2001
Beteiligte Personen und Organisationen
Technische Universität Chemnitz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (5 : 2001 : Chemnitz)

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:31 MESZ

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Objekttyp

  • Konferenzschrift

Beteiligte

  • Technische Universität Chemnitz
  • Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (5 : 2001 : Chemnitz)
  • Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik

Entstanden

  • 2001

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