Konferenzschrift

Mikrosystemtechnik : Mikromechanik & Mikroelektronik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783000168895
3000168893
Maße
30 cm
Umfang
VII, 214 S.
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Beitr. teilw. dt., teilw. engl. - Literaturangaben

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik
(wann)
2005
Beteiligte Personen und Organisationen
Technische Universität Chemnitz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (7 : 2005 : Chemnitz)

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:44 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Konferenzschrift

Beteiligte

  • Technische Universität Chemnitz
  • Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik (7 : 2005 : Chemnitz)
  • Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik

Entstanden

  • 2005

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